氮化镓(GaN)是第三代半导体材料中最具代表性的化合物，广泛应用于功率器件、射频器件和光电领域。受消费电子、电信及5G通信、新能源汽车等应用驱动，全球氮化镓产业呈爆发式增长。2017年-2021年，市场规模从78.7亿元增至358.3亿元，年复合增长率40.1%。预计到2026年市场规模将达1029.7亿元，年复合增长率27.7%。尽管美国和日本技术领先，但中国后起之秀势头强劲。目前采用ALD技术的设备还没有形成统一路线，国内需求加速推动半导体设备国产化。