气浮定位平台主要由两个主要部分组成,其中包括标准单轴直线气浮平台和宽体单轴直线气浮平台两部分。在机械方面,两种直线气浮平台均依靠空气静压原理,实现超精密级的直线度以及稳定程度。在驱动控制方面,两种直线气浮平台均采用直线电机,并使用高精度线性驱动器进行驱动。其反馈系统均采用高精度光栅尺实现位置全闭环控制,并利用高精度读数头以及细分盒,实现纳米级分辨率,最终实现高精度的定位。
商品类型 | 技术成果 | 项目阶段 | 成果权属 | 独占 | |
技术领域 | 交易方式 | 其他 | 权属人 |
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